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半導(dǎo)體設(shè)備

【1】行業(yè)地位、概述與國產(chǎn)化情況

除了材料,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的運轉(zhuǎn)還少不了半導(dǎo)體設(shè)備的支持。

半導(dǎo)體設(shè)備主要包括硅片設(shè)備、熱處理設(shè)備、光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備、離子注入設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、拋光設(shè)備、清洗設(shè)備、檢測設(shè)備這九類。其總投資約占晶圓廠建設(shè)投資的75-80%,且絕大多數(shù)設(shè)備存在相當(dāng)高的技術(shù)壁壘,幾乎是我國實現(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控之路中最關(guān)鍵的領(lǐng)域。

而2020年我國半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化率僅為16%,收入體量最大的半導(dǎo)體設(shè)備公司北方華創(chuàng)占全球設(shè)備份額也不足1%,任重而道遠。

其中,光刻機是半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備中技術(shù)壁壘最高的設(shè)備,每一臺都需要數(shù)百天的打磨,其作用光刻又是晶圓制造的核心環(huán)節(jié),即將設(shè)計好的電路圖從光刻版轉(zhuǎn)印到晶圓表面的光刻膠上,便于后續(xù)通過刻蝕和離子注入等工藝實現(xiàn)設(shè)計電路。因此在光刻機領(lǐng)域具有壟斷地位的荷蘭企業(yè)ASML在全球半導(dǎo)體行業(yè)舉足輕重,去年全年僅售賣258臺光刻機,營收卻高達一千多億,真正的千金難求。

我國要想自主生產(chǎn)的話,就不僅僅是光刻機的問題,要涉及到上千家供應(yīng)商,現(xiàn)在制作它的設(shè)備和材料主要是美國、德國、日本、中國臺灣提供,美國為主,所以說得建成龐大的產(chǎn)業(yè)鏈,在這么多的高科技領(lǐng)域領(lǐng)先才能搞定光刻機。中芯國際在先進制程上難以進步的原因,起到?jīng)Q定性作用的就是美國對中芯購買ASML EUV光刻機的阻撓。

【2】龍頭公司簡析

北方華創(chuàng):國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的絕對龍頭,平臺屬性強。深耕芯片制造刻蝕、薄膜沉積領(lǐng)域近20年,已成為國內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體高端工藝裝備及一站式解決方案的供應(yīng)商,客戶覆蓋中芯國際、華虹、三安光電、京東方等各產(chǎn)業(yè)鏈龍頭。

中微公司:國內(nèi)介質(zhì)刻蝕設(shè)備和MOCVD設(shè)備雙龍頭,實行外延式發(fā)展戰(zhàn)略,介質(zhì)刻蝕機已打入 5nm 制程,技術(shù)接近世界級水準(zhǔn)。

精測電子:檢測設(shè)備龍頭,對半導(dǎo)體測試領(lǐng)域設(shè)備實現(xiàn)全覆蓋。在半導(dǎo)體膜厚、Memory、Driver IC三大領(lǐng)域深度布局,未來有望隨著半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)放量迎來第二波黃金成長期。

華峰測控:測試機設(shè)備龍頭,產(chǎn)品從模擬和混合信號測試設(shè)備拓展至SoC測試。技術(shù)接近世界一流水平,進入了封測龍頭供應(yīng)鏈,毛利達到80%。

晶盛機電:國內(nèi)晶體硅生長設(shè)備龍頭,國內(nèi)高端市場占有率第一,在光伏、半導(dǎo)體硅片、藍寶石、SiC等四個領(lǐng)域均有成熟布局。同時公司還延伸到切、磨、拋、外延等生長后處理階段,成長為晶體制造一體化設(shè)備龍頭。

芯源微:國內(nèi)中高端涂膠顯影設(shè)備領(lǐng)導(dǎo)者,成功打破了國外廠商壟斷,是國內(nèi)唯一能提供中高端涂膠顯影設(shè)備的企業(yè),下游客戶覆蓋國內(nèi)大部分LED芯片制造企業(yè)和高端封裝企業(yè)。